度国家重大科研仪器研制项目资助

日前，国家自然科学基金委员会公布了2020年度国家重大科研仪器研制项目评审结果，合肥工业大学微电子学院梁华国教授团队申请的“纳米集成电路边缘缺点检测解析仪研制”获得国家重大科研仪器研制项目资助，这是我校微电子学院（国家示范）首次获得该项目资…